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淺談現如今真空泵的未來發展趨勢與現狀

關於真空泵的發展趨勢與現狀
  真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用於冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。
 
  渦旋水環真空泵的研究始於20世紀80年代末期。1988年,日本東京大學的MorishitaE研製了抽速為200L/min的立式自轉型油潤滑渦旋水環真空泵,與公轉型渦旋真空泵相比,該泵的徑向間隙具有易於密封和控製的優點。而渦旋泵與旋片泵相比,具有更高的容積效率,泵內的振動和噪聲水平都有所降低。此外,由於其結構更緊湊,整機重量和體積分別減少了12%和40%。MorishitaE的研究表明了渦旋真空泵的高效性,並對如何消除餘隙容積、控製間隙等提出了有效方法。隨著渦旋真空泵在半導體行業中應用的不斷擴大,人們開始致力於幹式渦旋真空泵的研究。幹式渦旋真空泵與油潤滑渦旋真空泵的區別在於泵腔內不含任何的油類和液體。因此解決泵內的密封和冷卻問題,是幹式渦旋真空泵研究的關鍵。1990年,KushiroT研製了抽速為600L/min的臥式幹式渦旋真空泵。
 
  水環真空泵也可以采用其它液體作工作液,所以又稱為液環真空泵,以水作為工作液進行敘述。水環真空泵在消耗電能的同時,還要消耗清水。長期以來,由於人們對水環真空泵產品的特性了解不多,往往忽視了對其節能、節水的考慮。本文根據水環真空泵在不同工況下的運行特點,介紹如何采用智能化控製的方式,使水環真空泵在最經濟的狀態下運行,水環真空泵在工作過程中,吸氣口與被抽係統相連,對係統進行氣體抽吸,形成真空。排出側在排氣的過程中還會帶出工作水。要連續不斷地向真空泵提供工作水。

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